北方微888真人注册发布ELEDE 380E大产能高性能PSS刻蚀

  北方微888真人注册公司近期发布了应用于LED领域图形化衬底(PSS)制程的新型大产能高性能ICP刻蚀设备ELEDE380E,该设备基于成熟的ELEDE380平台构架,通过采用最新的高解离率高密度等离子技术,大幅提升了工艺性能,能更好地满足LED PSS制程的发展需求。
  近年来,LED通用照明应用得到了快速发展,目前已经成为LED产品最大的市场需求,未来的市场潜力巨大。北方微888真人注册作为国内LED领域高端设备及工艺解决方案提供商,从2010年就开始深入技术研发,先后推出四代ELEDE系列LED PSS刻蚀机,不断顺应PSS制程技术的发展,赢得了良好的市场口碑。ELEDE 380E作为北方微888真人注册推出的新一代PSS刻蚀机,应用了北方微888真人注册最新开发成功的超高选择比技术(Ultra High Selectivity,UHS),工艺性能大幅提升,具备以下三项优势:
  一、刻蚀选择比高,PSS图形刻蚀高度高形貌好。随着AlN技术的引入,目前主流PSS衬底的尺寸逐渐在向1.8*2.8um的大尺寸规格发展,ELEDE 380E设备不仅能实现1.8*2.8um的尺寸规格,而且还能保证出色的图形形貌和一致,完美匹配大尺寸PSS规格的需求。
  二、降低对光胶厚度要求,提升黄光产能和良率。ELEDE 380E设备具备高选择比的优势,使用比现有PSS刻蚀机更低厚度的光胶就可以实现相同的PSS尺寸规格,低厚度光胶不仅能缩短光刻机曝光时间提升黄光产能,而且也有助于提升黄光良率。
  三、更大的载片容量和更短的维护时间。ELEDE 380E设备标配8片4寸托盘,单盘产能比现有设备提升14%,而且ELEDE 380E设备实现了维护部件全部快速拆卸更换的功能,显著缩短了设备的维护时间,设备产能明显提升。
  ELEDE380E具备的这三项优势,显著提升性能和增大产能,能有效降低客户的生产成本,为面临成本压力的PSS衬底制造领域提供了完美的解决方案。