北方微888真人注册NMC14纳米等离子硅刻蚀机进入ICRD

  近日,由北方微888真人注册自主研发的国内首台12英寸14纳米FinFET等离子硅刻蚀机正式进入上海集成电路研发中心(“ICRD”),与客户共同开展研发工作,标志着中国集成电路装备技术取得了新的突破,也预示着中国集成电路产业即将迈入全新的技术时代。
  14纳米集成电路制造技术是目前世界最先进的半导体工艺制造技术。作为中国自主开发集成电路高端制造装备的先行者,北方微888真人注册NMC 612D 14nm FinFET刻蚀机以全新的设计理念来实现14nm FinFET刻蚀工艺的要求。设备采用了新技术,提高了产品应用水平,设备多项关键指标达到国际先进水平。
  此举是北方微888真人注册通过技术创新取得又一重要成绩。凭借机台优异的性能和28nm的成功经验,期待NMC 612D14纳米等离子硅刻蚀机创造更多的优异成绩。北方微888真人注册愿通过持续的技术创新,与产业协同发展,共同迎来14纳米技术时代!