国内首台等离子去胶机面世

近日,七星888真人注册半导体装备家族再添新丁,北方微888真人注册公司发布了新产品IDE300设备,应用于先进封装Bumping(倒装)的等离子去胶工艺。作为国内首台自主研发的等离子去胶设备,其优异的工艺性能、多元化的工艺应用获得客户认可,首批产品成功交付客户。

本次公司推出的IDE300设备,是在原有12吋刻蚀设备的技术基础上,通过逐步扩展工艺应用而开发的新产品。该机台可兼容8吋和12吋晶圆,腔室数量可以灵活配置,不但能满足用户对产线高效、低损、高均匀性的工艺要求,也最大限度的满足了其灵活的产品及产能配置要求。

作为先进封装Bumping工艺的必备设备,等离子去胶设备丰富了公司在12吋先进集成电路制造设备领域的产品线,为企业开辟了一块新的市场空间。