北方华创推出200mm高性能多功能磁控溅射系统并实现销售

日前,北方华创发布了200mm新型高性能多功能磁控溅射系统Polaris G620,该设备基于该公司成熟的Cluster Tool平台构架,搭载全自动化装卸载系统,能更好地满足先进封装、微机电系统等多领域制程的发展需求。Polaris G620磁控溅射系统的推出,为全球200mm客户提供了更优质的选择,机台发布首月就成功实现销售。

近年来,物联网、汽车888真人注册、移动设备、可穿戴设备等行业的迅速发展,为 200mm设备市场注入了新的成长动力,设备需求反转上升。Polaris G620的成功研制,顺应了200mm制程技术的发展,具备优异的机台性能,可满足不同溅射工艺制备的需求,高温PVD工艺可满足最高400℃基片温度的溅射工艺需求,运用特殊的传输系统和工艺组件设计,可进行最低100μm厚度WaferTaiko wafer的传输和工艺。

此项完全自主研发并拥有自主知识产权的Ploaris G620高性能多功能磁控溅射系统,可为200mm半导体各领域提供高性价比的设备及工艺解决方案。